![EUV光源 原理](https://host.easylife.tw/files/Immersive%20Explorer.gif)
EUV光源 原理
2021年2月4日—EUV的技術原理,藉由精細的雷射光線與水滴相撞擊,搭配音樂為大家帶來了無與倫比的感官享受在這16天的展期中,我們攜手創造了3項成就:☝️見證 ...,2023年7月5日—这15年历尽坎坷,要理解其中的难点,我们不得不谈一谈13.5纳米的EUV光源的发光基本原理,EUV...
藉助CO 2 高功率雷射系統和錫產生EUV輻射
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EUV光刻的一大挑戰在於產生13.5奈米的最佳波長光束。解決方案:透過雷射射束生成提供極短波長光束的發光電漿。但如何先形成電漿?發生器讓錫 ...
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